自動化設備


塑膠射出成型,塑膠射出,射出成型
FOUP/Cassette清洗機
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  • 適用晶圓FOUP/FOUP INSERT產品
  • 全自動清洗烘乾,可依產品更換清洗框架
  • 支援SECS/GEM並可儲存99組產品參數,每組9段功能設定
  • 加熱水槽20LPM;60℃
  • 轉速5~250RPM