量測服務





Talysurf CCI Lite 系統規格
系統

量測方式
量測模式
Z軸掃描
檢視範圍
光源
物鏡座
取樣點數

3D 非接觸式量測 (>1 百萬畫素)
Taylor Hobson CCI干涉技術
超高精度閉路掃描
最高6.6 mm x 6.6 mm (依物鏡規格)
綠光LED
三鏡頭轉臺
1024 x 1024

工作平台

工件最大尺寸
工件最大重量
自動X-Y平台移動範圍

水平X and Y = 150 mm; 垂直Z = 100 mm
10 kg
112 x 75 mm

性能

Z 軸垂直範圍
最大垂直解析度
系統雜訊
量測重複性
量測面積(X, Y)
最大取樣點數
光學解析度 (X, Y)
階高重複性
量測時間

2.2 mm
0.01 nm [0.1 Å]
< 0.08 nm [0.8 Å] 1
0.02 nm [0.2 Å]
0.33 mm - 6.6 mm
1,048,576
0.4 – 0.6 μm
< 0.1%
5 - 40 秒

1024 x 1024 畫數
干涉物鏡

倍率  量測面積(X, Y)  取點解析度  斜率  設計
(um)          (um)      (deg)
20倍    825 x 825       0.83      14.6  米洛
50倍    330 x 330       0.33      27.7  米洛

Talysurf CCI Lite 分析參數
2D參數 3D參數

外形
Pa, Pc, Pdc*, Pdq, PHSC*, PHtp, Pku, Plo, Plq,
Pmr*, Pp, PPc*, Pq, Prms, Psk, PSm, Pt, Ptp,
Pv, Py, Pz, Pz(JIS), P3z, Pfd, Pda, Pla, PH, PD,
PS, Pvo

波紋
Wa, Wc, Wdc*, Wdq, WHSC*, WHtp, Wku, Wlo,
Wlq, Wmr*, Wp, WPc*, Wq, Wrms, Wsk, WSm,
Wt, Wtm, Wtp, Wv, Wy, Wz, Wz(JIS), W3z, Wda,
Wla, Wmax, WH, WD, WS, Wvo

粗糙度
Ra, Rc, Rdc, Rdq, RHSC, RHtp, Rku, Rlo, Rlq,
Rmr, Rp, RPc, Rq, Rrms, Rsk, RSm, Rt, Rtm,
Rtp, Rv, Ry, Rz, Rz(JIS), R3z, Rfd, Rda, Rla,
Rmax, RH, RD, RS, Rvo

Rk (DIN 4776, ISO 13565-2)
A1, A2, Mr1, Mr2, Rk, Rpk, Rvk, Rpk, Rvk

R&W (ISO 12085)
AR, AW, HTrc, Pt, R, Rke, Rpke, Rvke, Rx, Trc,
W, Wte, Wx, Kr, Nr, SR, SAR, Kw, Nw, SW, SAW

Straightness (ISO 12780)
STRt, STRp, STRv, STRq

Amplitude
Sa, Sq, Sp, Sv, St, Ssk, Sku, Sz

Area & Volume
Stp, SHtp, Smmr, Smvr, Smr, Sdc

Functional
Sk, Spk, Svk, Sr1, Sr2, Sbi, Sci, Svi,
Sm, Vv, Vm, Vmp, Vmc, Vvc, Vvv

Flatness
FLt, FLTp, FLTs, FLTq, FLTv

Hybrid & Spatial
Sdq, Ssc, Sdr
Spc, Sds, Str, Sal, Std, Sfd

資料分析
Step height, Lateral Distance, Pitch,
Angle Measurement, Peak Count,
Interactive Abbott-Firestone Curve,
Volume of Islands, Autocorrelation,
Fractal Analysis, Motifs Analysis,
Frequency Analysis, Data Patching

濾波器
Gaussian, Robust Gaussian, Spline, Wavelet,
Robust Wavelet and Morphological