量測服務


設備項目


∴pH值 ∴表面分析∴材料分析∴總有機氣體
SEM/EDS
解析度 1.5 nm at 15kV
2.8 nm at 1 kV
放大倍率 範圍 Range
12x – 1,000,000x
圖片畫素 3024*2304 pixels
載台尺寸 X = 125 mm
Y = 125 mm
Z = 50 mm
 
FTIR
晶體種類 ZnSe
波長範圍 4000-650 cm-1
 
FTIR Microscope
樣品尺寸 樣品需大於 40um*40um (L*W)
深度解析度 >0.65µm
 
SEM/EDS Scanning Electron Microscopy (SEM) with Energy Dispersive X-Ray Analysis (EDX)
掃描式電子顯微鏡,又掃描電鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)主要是利用微小聚焦的電子束(Electron Beam)進行樣品表面掃描。 此電子束(Electron Beam)與樣品間的交互作用會激發出各種訊號,如: 二次電子、背向散射電子及特性X光等,SEM主要就是收集二次電子的訊號來成像。
應用範圍
  • 針對各種材料表面微結構觀察
  • SEM量測樣品尺寸,如膜厚等
  • EDS可針對樣品表面,進行微區定性與半定量成份元素分析
設備介紹:ZEISS SIGMA
  • 發射器: 熱場發射型 Thermal field emission type
  • 解析度: 1.5 nm at 15kV 2.8 nm at 1 kV
  • 倍率: 20x – 300,000x
  • 加速電壓: 0.1~30kV